Euv-Durchlässige Folie, Pellikel und Belichtungsverfahren

EP4636478 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4636478
Aktenzeichen: EP24861349
Anmeldetag: 29. Februar 2024
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK INSULATORS, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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