Zusammensetzung zur Bildung eines Resistunterschichtfilms

EP4636486 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: Nissan Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4636486
Aktenzeichen
EP23903444
Anmeldetag
8. Dezember 2023
Veröffentlichung
22. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11G03F7/20H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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