Euv-Durchlässige Folie, Verfahren zur Verarbeitung davon und Lichtexpositionsverfahren
EP4636488
Art A1
22. Oktober 2025
Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4636488
- Aktenzeichen
- EP24861346
- Anmeldetag
- 29. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F1/62
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NGK INSULATORS, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
NGK Insulators
Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.
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