Computerimplementiertes Verfahren, Computerlesbares Medium, Computerprogrammprodukt und Entsprechende Systeme zur Erzeugung von Luftbildern von Photolithographiemasken
EP4643184
Art A1
5. November 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4643184
- Aktenzeichen
- EP23840696
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 5. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland