Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten eines Substrats in einem Evakuierten Bearbeitungsraum

EP4646630 Art A1 12. November 2025

Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4646630
Aktenzeichen: EP23700059
Anmeldetag: 3. Januar 2023
Veröffentlichung: 12. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00B41F19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EV Group E. Thallner GmbH
Land: 🇦🇹 Österreich

Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

Kaldewey, Tim Merlin Ratingen, Deutschland

14

Patente gesamt

11

Fachgebiete

4

Anmelder-Länder

Schwerpunkte

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff)

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