Organometallische Metallchalkogenidcluster und Anwendung in der Lithographie
EP4647842
Art A3
25. Februar 2026
Anmelder: Inpria Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4647842
- Aktenzeichen
- EP25204099
- Anmeldetag
- 21. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/004G03F7/20G03F7/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Inpria Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA