Verfahren zur Herstellung einer Dreidimensionalen Mikrostruktur durch Ätzen und Darin Verwendete Ätzmaske

EP4648089 Art A1 12. November 2025

Anmelder: Seoul National University R&DB Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4648089
Aktenzeichen: EP24817462
Anmeldetag: 13. September 2024
Veröffentlichung: 12. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B81C1/00// H01L21/3065H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Seoul National University R&DB Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Seoul National University R&DB Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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