Verfahren zur Herstellung eines Moduls für die Halbleiterlithographie und Modul für die Halbleiterlithographie
EP4650083
Art A1
19. November 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4650083
- Aktenzeichen
- EP25174654
- Anmeldetag
- 6. Mai 2025
- Veröffentlichung
- 19. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B22D19/00G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Kanzlei
Raunecker Patent
Ulm, Deutschland
Raunecker Patent ist eine Patentanwälte-Partnerschaft mit Hauptsitz in Ulm und Standorten in München und Markdorf, die beim Schutz technischer Erfindungen, bei Patent-, Marken- und Designanmeldungen sowie bei Markenüberwachung und Lizenzvereinbarungen begleitet.
208
Patente gesamt
1
Patentanwälte
1
Standorte