Mehrkathoden-Pvd-System zur Abscheidung von Sperrsamen mit Hohem Aspektverhältnis

EP4652305 Art A1 26. November 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4652305
Aktenzeichen: EP24745185
Anmeldetag: 18. Januar 2024
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34C23C14/50C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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