Verfahren zur Herstellung einer Membran mit Durchgehenden Löchern
Anmelder: Stichting IMEC Nederland, Imec VZW 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4653077
- Aktenzeichen
- EP24177979
- Anmeldetag
- 24. Mai 2024
- Veröffentlichung
- 26. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D67/00B01D69/02B01D71/70C25F3/12
Abstract
According to an aspect of the present inventive concept there is provided a method for manufacturing a membrane with through-going pores, the method comprising: controlling starting points for the through-going pores by forming indents on a surface of a semiconductor substrate using a dry-etch process or by applying a mask on the surface of the semiconductor substrate comprising openings in the mask; forming the pores, at locations of the starting points, through the semiconductor substrate using electrochemical etching, wherein the electrochemical etching through the semiconductor substrate selectively starts at the starting points.
Anmelder
- Firmen
- Stichting IMEC Nederland
Imec VZW - Land
- 🇳🇱 Niederlande
Stichting IMEC Nederland ist die niederländische Tochtergesellschaft des belgischen Forschungsinstituts IMEC für Nano- und Mikroelektronik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik, Mess- und Prüftechnik sowie Elektronik und Nachrichtentechnik, unter anderem im Bereich Neurostimulation. Anmeldungen laufen seit 2007 bis in die Gegenwart.
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Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Vertreten von
-
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AWA Sweden AB · Stockholm