Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung durch Kathodenintegriertes Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern (hipims), Vorrichtung und Aluminiumtitannitrid (atin)-Beschichtung

EP4653575 Art A1 26. November 2025

Anmelder: Guangdong Huasheng Nano Technology Co., Ltd 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4653575
Aktenzeichen
EP24191009
Anmeldetag
25. Juli 2024
Veröffentlichung
26. November 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C14/06C23C14/34C23C14/35C23C28/04H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Guangdong Huasheng Nano Technology Co., Ltd
Land
🇨🇳 China

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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