Inspektionssystem und Temperatursteuerungsverfahren

EP4654252 Art A1 26. November 2025

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4654252
Aktenzeichen: EP24744537
Anmeldetag: 9. Januar 2024
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66G01R31/26G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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