Elektrostatische Halteplatte

EP4654254 Art A1 26. November 2025

Anmelder: Tomoegawa Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4654254
Aktenzeichen: EP24744565
Anmeldetag: 11. Januar 2024
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tomoegawa Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tomoegawa

Tomoegawa ist ein japanischer Hersteller von Spezialpapieren und Funktionsmaterialien mit Sitz in Tokio, der unter anderem Materialien für Elektronik und optische Anwendungen produziert. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Halbleiter- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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