Evakuierungsvorrichtung und Plasmagenerator

EP4654756 Art A1 26. November 2025

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4654756
Aktenzeichen: EP24744744
Anmeldetag: 19. Januar 2024
Veröffentlichung: 26. November 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H05H1/46F04D19/04F04D29/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von