Verfahren zum Herstellen einer Spiegelanordnung, sowie Beschichtungsanlage
EP4655428
Art A1
3. Dezember 2025
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4655428
- Aktenzeichen
- EP23818314
- Anmeldetag
- 24. November 2023
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/22C23C14/24C23C14/50C23C14/54G02B1/10G02B5/08G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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