Epi-Isolationsplatte mit Spalt- und Winkeleinstellung zur Prozessabstimmung

EP4655435 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4655435
Aktenzeichen
EP24747687
Anmeldetag
23. Januar 2024
Veröffentlichung
3. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/16C30B25/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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