Charakterisierung der Variation eines Lithographischen Prozesses zur Herstellung einer Prozesskalibrierung unter Verwendung von Wichtigkeitsproben

EP4655645 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Siemens Industry Software Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4655645
Aktenzeichen: EP23713786
Anmeldetag: 28. Februar 2023
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Siemens Industry Software Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Siemens

Deutscher Technologiekonzern mit Sitz in München und Berlin. Aktiv in Automatisierungstechnik, Digitalisierung, Energie- und Bahntechnik sowie Industriesoftware für Industrie, Infrastruktur und Mobilität.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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