Temperaturregelungsvorrichtung für Halbleiterherstellungsvorrichtung

EP4656969 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: SMC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4656969
Aktenzeichen: EP24763760
Anmeldetag: 22. Februar 2024
Veröffentlichung: 3. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: F25B13/00F25B1/00F25B41/26F25B49/02H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SMC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SMC

SMC ist ein japanischer Hersteller von Pneumatik- und Automatisierungskomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Maschinenelemente und Fluidtechnik, ergänzt um Fertigungstechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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