Resistunterschichtfilmbildungszusammensetzung

EP4657158 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Nissan Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4657158
Aktenzeichen
EP24763810
Anmeldetag
26. Februar 2024
Veröffentlichung
3. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/11C08G59/48C08G59/50G03F7/26H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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