Laserbearbeitungsverfahren, Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserlichtquelle

EP4657501 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4657501
Aktenzeichen
EP24774921
Anmeldetag
19. März 2024
Veröffentlichung
3. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/301B23K26/53B23K26/0622
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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