Polierflüssigkeit, Polierflüssigkeitssatz, Polierverfahren, Komponentenherstellungsverfahren und Halbleiterbauelementherstellungsverfahren

EP4657503 Art A1 3. Dezember 2025

Anmelder: Resonac Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4657503
Aktenzeichen
EP23919739
Anmeldetag
2. Februar 2023
Veröffentlichung
3. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Resonac Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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