Waferkassetten-Lade- und Entladesystem für einen Epitaxiereaktor mit Koaxialem Betätigungssystem und einem Epitaxiereaktor
EP4657514
Art A1
3. Dezember 2025
Anmelder: LPE S.p.A. 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4657514
- Aktenzeichen
- EP25178976
- Anmeldetag
- 27. Mai 2025
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LPE S.p.A.
- Land
- 🇮🇹 Italien
Fachgebiete
Vertreten von
Di Biase, Fabio
Milano, Italien
44
Patente gesamt
17
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte