Computerimplementiertes Verfahren zur Erkennung von Defekten in einem Abbildungsdatensatz eines Objekts

EP4659191 Art A1 10. Dezember 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4659191
Aktenzeichen
EP24702279
Anmeldetag
24. Januar 2024
Veröffentlichung
10. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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