Verfahren zum Ablösen einer Epitaxieschicht von Ihrem Wachstumssubstrat durch Laser-Vorablation der Opferpufferschicht
EP4661067
Art A1
10. Dezember 2025
Anmelder: Rogers, David J., Hosseini-Teherani, Ferechteh, Sandana, Vinod E. 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4661067
- Aktenzeichen
- EP25180592
- Anmeldetag
- 3. Juni 2025
- Veröffentlichung
- 10. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/78H01L21/02H10H20/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Rogers, David J.
Hosseini-Teherani, Ferechteh
Sandana, Vinod E. - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Fachgebiete
Vertreten von
Setayesh Bamas, Sousan
Paris, Frankreich
7
Patente gesamt
4
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte