Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation Thermisch Induzierter Strahlausrichtungsfehler in einem Laserbearbeitungssystem

EP4662027 Art A1 17. Dezember 2025

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4662027
Aktenzeichen: EP24753796
Anmeldetag: 29. Januar 2024
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B23K26/082B23K26/06B23K26/08B23K26/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Electro Scientific Industries, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

334 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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