Anisotropes Ätzen von Aluminium

EP4662700 Art A1 17. Dezember 2025

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO, Technische Universiteit Delft, Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4662700
Aktenzeichen: EP24703888
Anmeldetag: 6. Februar 2024
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Technische Universiteit Delft
Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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