Element, Verfahren zur Herstellung des Elements und Vorrichtung im Zusammenhang mit der Halbleiterherstellung

EP4663405 Art A1 17. Dezember 2025

Anmelder: Daikin Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4663405
Aktenzeichen: EP25761444
Anmeldetag: 18. Februar 2025
Veröffentlichung: 17. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B32B27/00B32B7/02H01L21/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Daikin Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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