Blockcopolymerformulierung zur Verbesserung der Selbstangeordneten Morphologie in einer Gerichteten Selbstanordnungsanwendung

EP4665775 Art A1 24. Dezember 2025

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4665775
Aktenzeichen
EP24705397
Anmeldetag
12. Februar 2024
Veröffentlichung
24. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C08F12/08C08F297/02G03F7/00G03F7/40H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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