Mehrkammer-Ampulle für Chemischen Feststoffvorläufer

EP4665884 Art A2 24. Dezember 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4665884
Aktenzeichen
EP24767680
Anmeldetag
4. März 2024
Veröffentlichung
24. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/448C23C16/455H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB München, Deutschland

ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.

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