Verfahren zur Thermischen Abscheidung von Siliziumhaltigen Schichten
EP4667617
Art A1
24. Dezember 2025
Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4667617
- Aktenzeichen
- EP25194204
- Anmeldetag
- 21. Mai 2020
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Versum Materials US, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB
München, Deutschland
ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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