Optischer Verstärker für einen Ansteuerlaser zur Verwendung in einem Lithographiesystem, Lithographiesystem und Verfahren zur Installation eines Optischen Verstärkers
EP4668503
Art A1
24. Dezember 2025
Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4668503
- Aktenzeichen
- EP24183132
- Anmeldetag
- 19. Juni 2024
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01S3/02H01S3/036H01S3/07H01S3/23// H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
ASML Netherlands B.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Prescher, Gordian
Köln, Deutschland
18
Patente gesamt
14
Fachgebiete
7
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Schwerpunkte