Dreidimensionale Abscheidung einer Abscheidungsstruktur auf einem Substrat
EP4671406
Art A1
31. Dezember 2025
Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4671406
- Aktenzeichen
- EP24185086
- Anmeldetag
- 27. Juni 2024
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/22C23C14/52C23C14/54H01L21/308H05B33/10H10K71/16G03F9/00B82Y40/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zurich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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