Al-Sc-Ga-Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung davon

EP4671409 Art A1 31. Dezember 2025

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4671409
Aktenzeichen
EP24770555
Anmeldetag
29. Februar 2024
Veröffentlichung
31. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/34C22C21/00C22C28/00C22C30/00C23C14/06H01L21/203
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tosoh Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

707 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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