Reaktionskammeranordnung

EP4675005 Art A1 7. Januar 2026

Anmelder: LPE S.p.A. 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4675005
Aktenzeichen
EP25187384
Anmeldetag
3. Juli 2025
Veröffentlichung
7. Januar 2026
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/32C23C16/44C23C16/455C23C16/458C23C16/46C23C16/54C30B25/08C30B25/10C30B25/12C30B25/14F27B17/00F27D3/12F27D5/00H01L21/67H01L21/677H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
LPE S.p.A.
Land
🇮🇹 Italien

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