Oniumsalzmonomer, Polymer, Chemisch Verstärkte Negative Resistzusammensetzung und Verfahren zur Bildung von Resistmustern

EP4675353 Art A1 7. Januar 2026

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4675353
Aktenzeichen: EP25186358
Anmeldetag: 30. Juni 2025
Veröffentlichung: 7. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/038C07C25/18C07C309/73C07C309/75C07C381/12C07D327/08C07D333/76C08F12/20C08F12/22C08F12/30C08F12/32C09D125/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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