Oberflächenmodifikation mittels Wasserstoffperoxidplasma

EP4677136 Art A1 14. Januar 2026

Anmelder: Rasirc, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4677136
Aktenzeichen
EP24766579
Anmeldetag
26. Februar 2024
Veröffentlichung
14. Januar 2026
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/513C23C16/455C23C16/52C23C16/22C08J7/12H01L21/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Rasirc, Inc.
Land
🇺🇸 USA

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