Vakuumbehandlungsvorrichtung, Elektrostatische Einspannvorrichtung und Transportwalze

EP4678783 Art A1 14. Januar 2026

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4678783
Aktenzeichen
EP23956815
Anmeldetag
26. Oktober 2023
Veröffentlichung
14. Januar 2026
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/50C23C16/44H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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