Vorrichtung und Verfahren zur Nicht-Immersiven Nasschemischen Behandlung eines Substrats und Vorrichtung zum Halten des Substrats

EP4679496 Art A1 14. Januar 2026

Anmelder: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4679496
Aktenzeichen: EP24188389
Anmeldetag: 12. Juli 2024
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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