Vorrichtung zum Verändern einer Form einer Oberfläche eines Objekts

EP4682656 Art A1 21. Januar 2026

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4682656
Aktenzeichen: EP25183516
Anmeldetag: 18. Juni 2025
Veröffentlichung: 21. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G05B19/40G05B19/418H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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