Wartungsarbeitsassistenzsystem, Steuerungsverfahren und Steuerungsprogramm

EP4682937 Art A1 21. Januar 2026

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4682937
Aktenzeichen: EP24770641
Anmeldetag: 5. März 2024
Veröffentlichung: 21. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02B25J13/00G05B19/418H01L21/205H01L21/3065H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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