Flächenselektive Abscheidung eines Metallfilms auf Siliciumhaltigen Oberflächen unter Verwendung von Halogeniden
EP4684045
Art A1
28. Januar 2026
Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4684045
- Aktenzeichen
- EP24789472
- Anmeldetag
- 11. April 2024
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04C23C16/455C23C16/08C23C16/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Versum Materials US, LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB
München, Deutschland
ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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