Siliziumspitze mit Geringer Masse und Hohem Aspektverhältnis, Sonde mit Solch einer Siliziumspitze, Mikroskop mit Solch einer Sonde und Verfahren zur Herstellung der Siliziumspitze

EP4684215 Art A1 28. Januar 2026

Anmelder: VMICRO, Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4684215
Aktenzeichen: EP24713458
Anmeldetag: 21. März 2024
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q70/10G01Q70/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: VMICRO
Centre National de la Recherche Scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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