Euv-Empfindliches Metalloxidmaterial als Unterschicht für Dünnes Auto zur Verbesserung der Musterübertragung

EP4684248 Art A2 28. Januar 2026

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4684248
Aktenzeichen: EP24775590
Anmeldetag: 19. März 2024
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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