Verdickungszusammensetzung, Verfahren zur Herstellung einer Verdickten Resiststruktur und Verfahren zur Herstellung eines Verarbeiteten Substrats

EP4684249 Art A1 28. Januar 2026

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4684249
Aktenzeichen
EP24713414
Anmeldetag
18. März 2024
Veröffentlichung
28. Januar 2026
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/26G03F7/38
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Merck Patent GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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