Lithographiesystem

EP4685838 Art A2 28. Januar 2026

Anmelder: IMS Nanofabrication GmbH, JEOL Ltd. 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4685838
Aktenzeichen: EP25184821
Anmeldetag: 24. Juni 2025
Veröffentlichung: 28. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/20H01J37/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: IMS Nanofabrication GmbH
JEOL Ltd.
Land: 🇦🇹 Österreich

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

288 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von