System und Verfahren zum Thermostabilen Betrieb eines Akustooptischen Deflektors mit Reduzierten Akustischen Transienten

EP4689790 Art A1 11. Februar 2026

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4689790
Aktenzeichen
EP24785538
Anmeldetag
22. März 2024
Veröffentlichung
11. Februar 2026
Rechtsraum
EP
IPC
G02F1/33H01S3/10H01S3/101H01S3/106
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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