Flächenselektive Abscheidung eines Dielektrischen Films auf Siliciumhaltigen Oberflächen unter Verwendung von Alkoholen
EP4690280
Art A1
11. Februar 2026
Anmelder: Versum Materials US, LLC, Merck Patent GmbH 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4690280
- Aktenzeichen
- EP24811688
- Anmeldetag
- 17. Mai 2024
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/32H01L21/02C23C16/02C23C16/04C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
Merck Patent GmbH - Land
- 🇺🇸 USA
Kanzlei
ANDREA | SOMMER / Patentanwälte Partnerschaft mbB
München, Deutschland
ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.
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