Flächenselektive Abscheidung eines Dielektrischen Films auf Siliciumhaltigen Oberflächen unter Verwendung von Alkoholen
Anmelder: Versum Materials US, LLC, Merck Patent GmbH 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4690280
- Aktenzeichen
- EP24811688
- Anmeldetag
- 17. Mai 2024
- Veröffentlichung
- 11. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/32H01L21/02C23C16/02C23C16/04C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Versum Materials US, LLC
Merck Patent GmbH - Land
- 🇺🇸 USA
Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.
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Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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ANDREA | SOMMER Patentanwälte Partnerschaft mbB mit Sitz in München, in direkter Nähe zum Europäischen Patentamt. Vertritt vor EPA, EUIPO und WIPO mit Schwerpunkten in Chemie und Pharmazie, berät von Einzelerfindern und Start-ups bis zu internationalen Konzernen.