Vorrichtung zur Abscheidung von Atomschichten und Verfahren zur Beschichtung eines Substrats
EP4695440
Art A1
18. Februar 2026
Anmelder: Beneq Oy 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4695440
- Aktenzeichen
- EP24788300
- Anmeldetag
- 10. April 2024
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44C23C16/455C23C16/509H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Beneq Oy
- Land
- 🇫🇮 Finnland
Vertreten von
-
Primrose Oy
Primrose Oy · Helsinki