Systeme, Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung der Plattentemperatur zur Halbleiterherstellung

EP4695452 Art A1 18. Februar 2026

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4695452
Aktenzeichen: EP24789173
Anmeldetag: 17. Januar 2024
Veröffentlichung: 18. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: C30B25/10C30B25/16H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von