Massenspektrometer zur Gasanalyse und Gasanalyseverfahren

EP4695837 Art A1 18. Februar 2026

Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4695837
Aktenzeichen: EP24716344
Anmeldetag: 28. März 2024
Veröffentlichung: 18. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Inficon GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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